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Fördertechnik Autonomes Indoor-Fahrzeug für das Handling von Halbleitern

Zur Hannover Messe 2014 präsentiert Adept Technology erstmals in Europa den SPH-2200 Handler. Es handelt sich dabei um ein autonomes Indoor-Fahrzeug für das Handling von SMIF Pods und anderen Produkten in der Halbleiterindustrie.

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Der Adept SPH-2200 steigert die Effizienz in der Halbleiterproduktion.
Der Adept SPH-2200 steigert die Effizienz in der Halbleiterproduktion.
(Bild: Adept)

Durch seine Wendigkeit in schmalen Gängen und beengten Umgebungen stört das Transportfahrzeug den täglichen Anlagen- und Wartungsbetrieb nicht und benötigt auch keine zusätzliche Infrastruktur. Der Handler ist entwickelt worden, um SMIF Pods aus einer Vielzahl von Stationen, inklusive Verarbeitungsanlagen, Beschickungscorrichtungen und Lagerregalen, auszutauschen. Durch die Integration der Adept-Enterprise-Manager-Software können die SMIF-Pod-Aufträge für die Fahrzeuge direkt aus der Produktionssoftware generiert werden. Der Adept SPH-2200 steigert die Effizienz in der Produktion durch den automatisierten Transport und das eigenständige Platzieren der SMIF Pods durch die Handler, bei gleichzeitiger Reduzierung der Erschütterungen und damit auch der Reduzierung der Partikel im Reinraum.

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